BAG402 中真空(kong)至超高(gao)真(zhen)空真(zhen)空計

BAG402 中(zhong)真(zhen)空至超高(gao)真(zhen)空真(zhen)空計

INFICON 的(de)單壹(yi) Bayard-Alpert 熱電(dian)離真(zhen)空(kong)計(ji) BAG402，測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei)從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選(xuan)擇(ze) INFICON BAG402 緊(jin)湊(cou)型主動(dong)真空(kong)計(ji)套裝，在低成(cheng)本(ben)、可(ke)重(zhong)復(fu)的(de)工藝(yi)過程中(zhong)進行(xing)基(ji)礎(chu)壓力測(ce)量(liang)。*的(de)雙絲極(ji)結構提(ti)供更(geng)優(you)異的(de)精度(du)、長(chang)期穩定(ding)性 和長使用(yong)壽命。
益處

測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei)從 5×10-10 mbar 到(dao) 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到(dao) 5×10-2 Torr）

出(chu)色的(de)可(ke)重(zhong)復(fu)性(xing)，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝(yi)壓力範圍(wei)內為 5%

過壓檢測(ce)保(bao)護(hu)，防止(zhi)燈絲燒毀(hui)

兩(liang)根(gen)長(chang)壽命氧化銥(yi)燈絲

發(fa)射電(dian)流選(xuan)擇(ze)，降(jiang)低控(kong)制(zhi)的(de)繁瑣(suo)

植(zhi)入校(xiao)準(zhun)數據(ju)的傳感(gan)器元(yuan)件可(ke)確保規(gui)管的(de)高精準(zhun)性，並(bing)且易(yi)於更(geng)換(huan)

符(fu)合(he)RoHS

典(dian)型應用(yong)

半導體(ti)工藝(yi)和傳送(song)腔室(shi)的(de)壓強(qiang)測(ce)量(liang)

工業鍍膜

從低真(zhen)空(kong)到(dao)超高(gao)真(zhen)空範(fan)圍(wei)的(de)普(pu)通(tong)真空測(ce)量(liang)及(ji)控(kong)制(zhi)
類(lei)型 BAG402

測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei) (空(kong)氣(qi), 氧(yang)2, 壹氧化(hua)碳(tan), 氮(dan)2)       5×10-10 … 2.7×10-2

精(jing)度(du)

10-8 … 10-2 毫巴(ba)    % of reading    ±15

重(zhong)復(fu)性 

10-8 … 10-2 毫巴(ba)    % of reading    5

除(chu)氣(qi) (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓強(qiang), zui大(da)   bar (absolute)  2

溫(wen)度(du)

操(cao)作 (環(huan)境)  °C 0 … +50

儲存(cun) °C -20 … +70

法(fa)蘭(lan)口(kou)的烘烤(kao)，不(bu)帶BPG402-S電(dian)子單元(yuan)    °C 80

供電(dian)電(dian)壓     +20 … +28

輸(shu)出(chu)信號(hao)模擬 (4)

輸(shu)出(chu)信號(hao) V   0 … +10

測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei) log / lin   V   0 … +9

電(dian)壓 vs. 壓強(qiang)    volts per decade    1

錯誤(wu)信(xin)號(hao) V   > +10

負載阻(zu)抗, zui小   kΩ  10

第二模擬輸出(chu)     none

設(she)點繼(ji)電(dian)器  

設(she)定(ding)點數量(liang)       none

範(fan)圍(wei)   

繼(ji)電(dian)器觸點(dian)     

滯(zhi)後(hou)   

觸點(dian)額定(ding)值(zhi)     

數(shu)字(zi)功能     degas and emission

接(jie)口(kou) (數字(zi)) (2)      Diagnosis port

發(fa)射控(kong)制(zhi)     manual

燈絲    two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)

燈絲狀(zhuang)態 / 繼(ji)電(dian)器    LED / relay

電(dian)氣(qi)連接(jie)     D-Sub, 9-pin, male

電(dian)纜長(chang)度(du)，zui大(da)值(zhi) m (ft.) 100 (330)

暴露於真(zhen)空(kong)中的(de)材料       Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內部(bu)容(rong)積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重(zhong)量(liang) KF / CF g   450 / 710

保(bao)護(hu)級別     IP30
353-600 BAG402 DSUB9 KF25

353-601 BAG402 DSUB9 CF40
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484 備(bei)用(yong)傳感(gan)器 BAG402 DN 25 ISO-KF

354-485 備(bei)用(yong)傳感(gan)器 BAG402 DN 40 CF-R