BCG450 大氣(qi)壓(ya)至超(chao)高(gao)真空(kong)三(san)合壹真空(kong)計

BCG450 大(da)氣壓(ya)至超(chao)高(gao)真空(kong)三(san)合壹真空(kong)計

INFICON貝(bei)阿德(de)-阿爾(er)珀(po)特皮拉(la)尼（Pirani）BCG450型(xing)電容(rong)式膜片(pian)真空計將三(san)大不同(tong)技(ji)術的(de)優(you)勢融合在(zai)壹(yi)個單個、緊湊(cou)和經(jing)濟的(de)可(ke)以(yi)測量 5×10-10 到(dao) 1500 毫(hao)巴（3.75×10-10 到(dao) 1125 托(tuo)）的(de)過(guo)程壓(ya)力和(he)基準(zhun)壓(ya)力的(de)工具(ju)包裏(li)。 BCG450型(xing)電容(rong)式膜片(pian)真空計的(de)設(she)計旨(zhi)在(zai)替(ti)代三個傳(chuan)感(gan)器(qi)（熱(re)離(li)子、熱(re)量(liang)增(zeng)強型(xing)皮拉(la)尼和真(zhen)空(kong)開(kai)關(guan)），從而節省成(cheng)本和寶(bao)貴(gui)的(de)工具(ju)空(kong)間。
益(yi)處(chu)

BCG450 可(ke)節省(sheng)成(cheng)本和工具(ju)空(kong)間，降(jiang)低(di)真(zhen)空(kong)測(ce)量安(an)裝(zhuang)與設置的(de)復雜性

10 托(tuo)以(yi)上的(de)壓(ya)力測(ce)量(liang)不受(shou)氣體類(lei)型(xing)限制(zhi)，能夠(gou)對任何(he)氣體混(hun)合物(wu)提供更(geng)為可(ke)靠(kao)的(de)加(jia)載(zai)互(hu)鎖(suo)控(kong)制

皮(pi)拉(la)尼聯(lian)鎖(suo)保護熱(re)絲(si)，防止過早燒毀(hui)

高(gao)真空(kong)皮(pi)拉(la)尼自(zi)動(dong)調節(jie)，減(jian)少操作員幹預

大(da)氣壓(ya)下的(de)壓(ya)差測(ce)量(liang)消除(chu)了大(da)氣壓(ya)力變(bian)化(hua)引(yin)起的(de)不(bu)確定(ding)

易(yi)於(yu)更(geng)換的(de)傳(chuan)感(gan)元件與板(ban)載(zai)校(xiao)準(zhun)數據(ju)確保再現(xian)性(xing)

備(bei)有可(ke)選的(de)圖(tu)形顯示屏(ping)和(he)現場總(zong)線接(jie)口

RoHS 合(he)規

典(dian)型(xing)應(ying)用(yong)

半(ban)導(dao)體過(guo)程、傳(chuan)輸(shu)腔室和加(jia)載(zai)互(hu)鎖(suo)真(zhen)空室的(de)壓(ya)力測(ce)量(liang)

工業(ye)鍍(du)膜

低(di)真(zhen)空(kong)和(he)超高(gao)真空(kong)範(fan)圍內系統(tong)的(de)壹(yi)般(ban)真空(kong)測量(liang)和(he)控制

新(xin)聞

現(xian)有全(quan)新(xin)EtherCAT數字(zi)接(jie)口供(gong)應(ying)！
類(lei)型(xing) BCG450

測(ce)量範(fan)圍     5×10-10 … 1500

精(jing)度

10-8 … 50 毫(hao)巴  % of reading    ±15

50 … 950 毫(hao)巴   % of reading    ±5

950 … 1050 毫(hao)巴 % of reading    ±2.5

可(ke)重復性

10-8 … 10-2 毫(hao)巴    % of reading    5

熱(re)離(li)子發(fa)射(she)   mbar    2×10-2 (high)

（可(ke)選高(gao)/低(di)，通(tong)過(guo) RS232 / 現(xian)場總(zong)線）  mbar    8×10-3 (low)

除(chu)氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓(ya)力，zui大(da)   bar (absolute)  5

溫(wen)度

運(yun)行(xing)（環境(jing)） °C 0 … +50

貯存(cun) °C -20 … +70

在(zai)法蘭處(chu)烘(hong)烤 °C 80

移(yi)除(chu)烘(hong)烤電(dian)子設(she)備(bei) °C 150

電(dian)源電(dian)壓(ya)     20 … 28

輸(shu)出信(xin)號(hao)模(mo)擬(ni)

輸(shu)出信(xin)號(hao) V   0 … 10.3

測(ce)量範(fan)圍輸(shu)出 V   0.774 … 10.3

電(dian)壓(ya)與壓(ya)強之(zhi)間的(de)關(guan)系 volts per decade    0.75

錯(cuo)誤信(xin)號(hao) V   0.3 / 0.5

zui小負載(zai) kΩ  10

接(jie)口（數(shu)字(zi)）(2)      RS232C

連接(jie)器      D-Sub, 15-pin, male

電(dian)纜(lan)長(chang)度(du)，zui大(da) (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露於(yu)真空(kong)的(de)材料     Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass

內(nei)部容(rong)積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重(zhong)量 KF / CF g   285 / 550

保護等(deng)級     IP30

DeviceNet™ 

協議(yi)    DeviceNet™, group 2 slave only

數(shu)據(ju)率開(kai)關(guan)   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

電(dian)纜(lan)長(chang)度(du) 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

電(dian)纜(lan)長(chang)度(du) 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

電(dian)纜(lan)長(chang)度(du) 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

網絡規模(mo)     up to 64 nodes per segment

數(shu)字功(gong)能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模(mo)擬(ni)功能(neng)     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可(ke)視(shi)通信(xin)指(zhi)示器(qi)       LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技(ji)術規(gui)格(ge)     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(she)備類(lei)型(xing)     ''CG'' for combination gauge

I / O 從(cong)屬(shu)傳(chuan)訊       polling only

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 設(she)定(ding)點(dian)數量(liang)     2

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 範(fan)圍  mbar    1×10-9 … 1400

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 繼(ji)電(dian)器觸點(dian)     n.o., potential free

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 滯(zhi)後  % of reading    10

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 觸點(dian)額(e)定(ding)值(zhi)     60

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 連接(jie)器     D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 電(dian)源電(dian)壓(ya)      11 … 25

真(zhen)空計電源(yuan)電壓(ya)       20 … 28

DeviceNet™ 連接(jie)器        Microstyle, 5-pin

BCG（模(mo)擬(ni)輸(shu)出、電(dian)源電(dian)壓(ya)、設定(ding)點(dian)）連接(jie)器        D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

波(bo)特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地(di)址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數(shu)字功(gong)能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模(mo)擬(ni)功能(neng)     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 設(she)定(ding)點(dian)數量(liang)     2

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 範(fan)圍  mbar    1×10-9 … 1400

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 繼(ji)電(dian)器觸點(dian)     n.o., potential free

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 滯(zhi)後  % of reading    10

設(she)定(ding)點(dian)繼(ji)電(dian)器： 觸點(dian)額(e)定(ding)值(zhi)     60

Profibus DP 連接(jie)器       D-Sub, 9-pin, female

BCG（模(mo)擬(ni)輸(shu)出、電(dian)源電(dian)壓(ya)、設定(ding)點(dian)）連接(jie)器        D-Sub, 15-pin, male

以(yi)太網 

以(yi)太網協議(yi)       protocol specialized for EtherCAT

通(tong)訊標(biao)準(zhun)     ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

節(jie)點(dian)地址     Explicit Device Identification

物(wu)理(li)層      100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以(yi)太網數(shu)字(zi)功能(neng)       read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information

過(guo)程數據(ju)     Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

(CoE)      SDO requests, responses and information

以(yi)太網連接(jie)件     RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

電(dian)纜(lan)    shielded Ethernet CAT5e or higher

電(dian)纜(lan)長(chang)度(du) m (ft.) ≤100 (330)

(1) 除(chu)氣期(qi)間(jian)降(jiang)低(di)精(jing)度(du)

(2) 同(tong)時使用(yong) RS232C 或(huo) VGC40x 系列(lie)控(kong)制(zhi)器(qi)，不允許使用(yong)現(xian)場總(zong)線

(3) 適用於(yu) RS232C 運(yun)行(xing) <30m
353-550 BCG450 規管(guan)

353-561 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle

353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-552 BCG450 規(gui)管(guan)

353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R

353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.

353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V電(dian)源

353-512 Baffle for BPG400

211-113 中心(xin)圈(quan) with baffle DN 25 KF
354-492 BCG450 傳(chuan)感(gan)器(qi)

354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.