BPG400 大氣壓(ya)至(zhi)超(chao)高真空真空計

BPG400 大氣(qi)壓(ya)至(zhi)超(chao)高真空真空計

INFICON貝阿(e)德-阿(e)爾(er)珀特(te)皮(pi)拉尼(ni)（Pirani）BPG400型(xing)復(fu)合(he)真空計將兩種真空計的(de)功能(neng)融(rong)合(he)到(dao)壹個緊(jin)湊(cou)的(de)裝(zhuang)置(zhi)中，測量(liang)範(fan)圍從(cong)5×10-10 毫(hao)巴至(zhi)大氣(qi)壓(ya)（3.8×10-10 托(tuo)至(zhi)大(da)氣壓(ya)）。多(duo)項(xiang)技(ji)術相(xiang)結合降低了(le)安裝(zhuang)、設置(zhi)和集成的(de)復雜(za)性。選擇(ze)BPG400真空計，價格經(jing)濟，且可重復(fu)測量(liang)基準壓(ya)力(li)。
益(yi)處(chu)

測量(liang)範(fan)圍非常(chang)廣，從(cong) 5×10-10 毫(hao)巴至(zhi)大氣(qi)壓(ya)（3.8×10-10 托(tuo)至(zhi)大(da)氣壓(ya)）

10-8 … 10-2 毫(hao)巴過(guo)程壓(ya)力(li)範(fan)圍內(nei) 5% 的(de)優良可重復(fu)性

皮(pi)拉尼(ni)聯(lian)鎖保(bao)護貝阿德(de)-阿(e)爾珀特(te)系(xi)統(tong)在高(gao)壓(ya)操(cao)作(zuo)下(xia)單(dan)絲(si)過(guo)早燒(shao)毀和過(guo)度汙染

使(shi)用壽命(ming)長(chang)的(de)氧(yang)化釔銥(yi)絲(si)

備有(you)可選的(de)圖形(xing)顯(xian)示屏和現(xian)場總(zong)線(xian)接口(kou)

高真空皮(pi)拉尼(ni)自動(dong)調節(jie)，減(jian)少(shao)操作(zuo)員幹(gan)預

RoHS 合規

低真空和(he)超(chao)高真空範(fan)圍內(nei)的(de)壹般(ban)真空測(ce)量(liang)和(he)控(kong)制

典(dian)型(xing)應(ying)用

對半(ban)導體過(guo)程和(he)傳(chuan)輸腔(qiang)室的(de)壓(ya)力(li)測(ce)量(liang)

工(gong)業鍍膜

低真空和(he)超(chao)高真空範(fan)圍內(nei)的(de)壹般(ban)真空測(ce)量(liang)和(he)控(kong)制
類型(xing) BPG400

測量(liang)範(fan)圍（空氣(qi)、O2、CO、N2）      5×10-10 … 1000

精度

10-8 … 10-2 毫(hao)巴    % of reading    ±15

可重復(fu)性

10-8 … 10-2 毫(hao)巴    % of reading    5

除(chu)氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓(ya)力(li)，zui大(da)   bar (absolute)  2

溫(wen)度

運行(xing)（環境(jing)） °C 0 … +50

貯存 °C -20 … +70

在法(fa)蘭(lan)處(chu)烘(hong)烤(kao)，有(you)延伸件    °C 150

在法(fa)蘭(lan)處(chu)烘(hong)烤(kao)，無(wu)延(yan)伸件    °C 80

移除(chu)烘(hong)烤(kao)電子(zi)設備(bei) °C 150

電源(yuan)電壓(ya)     +20 … +28

輸出(chu)信(xin)號(hao)模擬(ni)

輸出(chu)信(xin)號(hao) V   0 … +10

測量(liang)範(fan)圍 V   +0.774 … +10

電壓(ya)與(yu)壓(ya)強(qiang)   volts per decade    0.75

錯誤信(xin)號(hao) V   0.3 / 0.5

zui小(xiao)負(fu)載電(dian)阻 kΩ  10

接口(kou)（數字(zi)）(2)      RS232C

電氣(qi)連接(jie)     D-Sub, 15-pin, male

電纜(lan)長度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴(bao)露(lu)於(yu)真空的(de)材料(liao)     Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nei)部容(rong)積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量(liang) KF / CF g   285 / 550

保(bao)護等級(ji)     IP30

Profibus DP

波特(te)率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數字(zi)功能(neng)     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬(ni)功(gong)能(neng)     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設定點(dian)繼電器： 設定點(dian)數量(liang)     2

設定點(dian)繼電器： 範圍  mbar    1×10-9 … 100

設定點(dian)繼電器： 繼電(dian)器觸點(dian)     n.o., potential free

設定點(dian)繼電器： 滯(zhi)後(hou)  % of reading    10

設定點(dian)繼電器： 觸點(dian)額(e)定值     60

Profibus DP 連接(jie)器       D-Sub, 9-pin, female

BPG（模擬(ni)輸(shu)出(chu)、電源(yuan)電壓(ya)、設定點(dian)）連接(jie)器        D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 

協議    DeviceNet™, group 2 slave only

數據率開關(guan)   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

電纜(lan)長度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

電纜(lan)長度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

電纜(lan)長度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數字(zi)功能(neng)     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬(ni)功(gong)能(neng)     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技(ji)術規格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設備(bei)類(lei)型     ''CG'' for combination gauge

I / O 從屬(shu)傳(chuan)訊       polling only

設定點(dian)繼電器： 設定點(dian)數量(liang)     2

設定點(dian)繼電器： 範圍  mbar    1×10-9 … 100

設定點(dian)繼電器： 繼電(dian)器觸點(dian)     n.o., potential free

設定點(dian)繼電器： 滯(zhi)後(hou)  % of reading    10

設定點(dian)繼電器： 觸點(dian)額(e)定值     60

DeviceNet™ 電源(yuan)電壓(ya)      +11 … +25

真空計電源電壓(ya)       +20 … +28

DeviceNet™ 連接(jie)器        Microstyle, 5-pin

BPG（模擬(ni)輸(shu)出(chu)、電源(yuan)電壓(ya)、設定點(dian)）連接(jie)器        D-Sub, 15-pin, male

1) 除(chu)氣期間(jian)降低精度

2) 同(tong)時使(shi)用 RS232C 或 VGC40x 控(kong)制器系(xi)列(lie)，不允(yun)許使(shi)用現(xian)場總(zong)線(xian)

3) 適用於(yu) RS232C 運行(xing) <30m
353-500 BPG400 規管(guan)

353-500-11  BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-500-I0  BPG400規管(guan)

353-502-A   BPG400規管(guan)

354-498 Spare electronic BPG400 without Display

354-499 Spare electronic BPG400 with Display

353-501 BPG400 規管(guan)

353-502 BPG400 規管(guan)

353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-505 復合(he)真空規

353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R